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概述離子風扇在半導體行業的應用
在半導體器件生產車間,由于塵埃吸附在芯片上,尤其是超大規模集成電路的成品率會大大下降。生產車間操作人員都穿潔凈工作服,若人體帶靜電,則極易吸附塵埃、污物等,若這些塵埃、污物被帶到操作現場的話,將影響產品質量,惡化產品性能、大大降低成品率。如果吸附的灰塵粒子的半徑大于線條寬度約時,薄膜厚度在下時,則最易使產品報廢。
所以在的加工生產和封裝過程中建立起靜電防護系統是很有必要的IC封裝生產線對靜電的要求更為嚴格。為了保證生產線的正常運行,對其潔凈廠房進行防靜電建筑材料的整體裝修,對進出潔凈廠房的所有人員配備防靜電服裝等采取硬件措施外,封裝企業可根據國家有關標準和本企業的實際隋況制定出在防靜電方面的企業標準或具體要求,來配合封裝生產線的正常運轉。
還需裝離子風扇,從而降低靜電的累積,避免產品在不知不覺中被擊穿。